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最基本的等离子体清洗设备由四大部分组成,即激发电源、真空泵、真空腔、反应气体源。激发电源是提供气体放电能量来源的电源,可以采用不同的频率;真空泵的主要作用是抽走副产品,包括旋片式机械泵或增压泵;真空腔内带有放电电离的电极,将反应气...
等离子体处理技术是在半导体制造中创立起来的一种新技术。它早在半导体制造中得到了广泛应用,是半导体制造不可缺少的工艺。所以,它在IC加工中是一种很长久而成熟的技术。由于等离子体是一种具有很高能量和极高活性的物质,它对于任何有机材料...
动力系统与控制系统 – 提升汽车电子产品的可靠性 汽车动力与控制系统中使用了大量具有复杂功能的电子系统,而这些汽车电子产品需进行可靠密封以提升元器件防潮、防腐蚀的能力。而在这些关键工艺中,等离子体表面处理工艺可以有效清洁、活化电...
基于大众审美和市场需求,越来越多终端产品的屏占比指标日益加重,各种“窄边框”、“超窄边框”、“无边框”概念也在行业中风靡,消费者对其追求丝毫不亚于金属和玻璃机身。然而,受制于目前液晶以及结构技术的限制,真正的无边框手机在工业设计中实现难...
一、什么是等离子体表面处理技术 等离子体是由中性粒子,离子和电子混合物组成的气体。等离子体通常称之为物质的第四态。外表上,等离子体是准中性的,亦即它包含相同数目的正电荷和负电荷。等离子体是气体的一种电离形式,可以采用AC或DC功...