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等离子自动清洗机的原理和特点有哪些?

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编辑时间 : 2021-08-13
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  等离子自动清洗机的原理和特点有哪些?

  

  等离子清洗机也叫等离子清洁机、等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的。

  

  等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成,分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。国内使用的等离子清洗机,包括国外进口的,控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。

  

  等离子体清洗的原理,主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。就反应机理来看,等离子体清洗通常包括以下过程:无机气体被激发为等离子态;气相物质被吸附在固体表面;被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;产物分子解析形成气相;反应残余物脱离表面。

  

  等离子体清洗技术的特点是不分处理对象的基材类型,均可进行处理,对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理,并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。

  

  等离子清洗机的气体调压方式及使用技巧

  

  压缩气体是现代工业必不可少的组成部分,工业中常见的压缩气体主要包括压缩空气(CDA)和瓶装压缩气体。压缩空气被称为第二动力源,仅次于电力,而且还是一种具有多用途的工艺气源。

  

  工业用的瓶装压缩气体通常盛装于管制气瓶内,盛装的气体压力通常在13-15MPa,其优点是节约空间、安全且便于运输。压缩气体在使用时都会根据实际使用需求进行减压及稳压,那么等离子清洗机的气体调压方式有哪些,又有哪些使用技巧呢?

  

  气体压力控制是保证等离子清洗机正常运行的重要参数之一,常见的气体减压有气瓶减压器、气动调压阀及管道节流阀。

  

  1.气瓶减压器

  

  气瓶减压器是将气瓶内的高压气体减压为低压气体的装置。等离子清洗机所使用的工艺气体大多为瓶装高压气体,为保证工艺稳定性及各气路元件的工作稳定性,通常会将高压气体通过气瓶减压器减压至0.2-0.4MPa。

  

  在使用时需保证气瓶连接减压器及减压器连接气管的密封性,在将减压器安装到气瓶时需用生料带作为密封介质缠绕在气瓶的螺纹口上。减压器的输出接口建议选用3/8的标准接口,便于将原装的塔型接头更换为快拧接头或双卡套接头,以保证工艺气体输出气管与等离子清洗机气体接口间的密封性。

  

  如所用工业气体为氩气,建议使用氧气减压器。主要是因为氩气专用减压器输出压力通常为0.15MPa,如一瓶气体供应两台及以上的等离子清洗机,其输出压力无法满足使用要求,易造成设备欠压报警。

  

  2.气动调压阀

  

  气动调压阀是气动控制的重要器件,其作用是将外接的压缩气体控制在所需的工作压力,并保其压力和流量稳定。

  

  无论是真空等离子清洗机还是大气等离子清洗机,在气体输入时都会安装气动调压阀,为保证气体的洁净度在使用时可加装气体过滤组件。下图为调压阀与过滤组件在大气等离子清洗机中的应用。

  

  为了方便查看气体压力,可在调压阀上安装压力表或选用带有压力表的调压阀。如需提供欠压报警也可选用带报警输出功能的压力表或加装压力开关。


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