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化学反应为主的等离子体清洗

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编辑时间 : 2020-06-08
信息标签 : 在线等离子清洗机

表面反应以化学反应为主的等离子体清洗,习惯上称等离子清洗PE,许多气体的等离子态可产生高活性的粒子。从化学反应式可知,典型的PE工艺是氧气或氢气等离子体工艺,用氧等离子通过化学反应,能够使非挥发性有机物变成易挥发性的CO2和水汽,去除沾污物,使表面清洁;用氢的等离子可通过化学反应,去除金属表面氧化层,清洁金属表面。反应气体电离产生的高活性反应粒子,在一定条件下与被清洗物体表面发生化学反应,反应生成物是易挥发性物,可以被抽走,而针对被清除物的化学成分,选择合适的反应气体组分是极为重要的。PE的特点是表面改性,清洗速度较快,选择性好,对有机沾污污染比较有效。其不足是可能产生氧化物。

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