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在微电子技术封装的加工过程中,因为手指纹、助焊液、各种各样交叉式环境污染、当然空气氧化等,元器件和原材料表面会产生各种各样脏污,包含有机化合物、环氧树脂胶、光刻技术、焊接材料、金属盐等。这种脏污会显著地危害封装加工过程中的有关加工工艺品质。
应用等离子清洗机清洗能够非常容易消除掉加工过程中所产生的这种分子结构水准的环境污染,确保产品工件表面原子与将要粘附原材料的原子中间密不可分触碰,进而合理地提升引线键合抗压强度,改进集成ic粘合品质,降低封装漏汽率,提升电子器件的特性、产出率和可信性。中国某企业在铝丝键合前选用等离子技术清洗后,键合产出率提升10%,键合抗压强度一致性也是有提升。
在微电子技术封装中,等离子清洗机清洗加工工艺的挑选在于事后加工工艺对原材料表面的规定、原材料表面的原来特点、有机化学构成及其空气污染物的特性等。一般 运用于等离子技术清洗的汽体有氩气、co2、氡气、四氟化碳以及混合气等。表1列举了等离子技术清洗加工工艺的挑选及运用。
点银胶前:基钢板上的空气污染物会造成 银胶呈球体状,不利集成ic黏贴,并且非常容易导致集成ic手工制作刺口腔上皮细胞损害,应用频射等离子清洗能够使产品工件表面表面粗糙度及吸水性进一步提高,有益于银胶铺平及集成ic黏贴,另外可大大的节约银胶的需求量,控制成本。
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